甲基三氯硅烷，CH3SiCl3：无色液体，气味刺鼻如盐酸，沸点约66 °C。使氯甲烷通过单纯的热硅时，主要得到这种化合物（在罗乔1945年的例子中为52 %）；用如今的铜催化剂时，它是仅次于二甲基二氯硅烷的第二种产物（5–15 %）。遇水变成交联的甲基硅酮树脂。