Methyltrichlorsilan, CH3SiCl3: eine farblose Flüssigkeit mit stechendem Geruch wie Salzsäure, siedet bei etwa 66 °C. Über reines heißes Silicium geleitet, liefert Methylchlorid überwiegend diese Verbindung (52 % in Rochows Beispiel von 1945); mit dem heutigen Kupferkatalysator ist sie das zweite Produkt (5–15 %), nach Dimethyldichlorsilan. Wasser macht daraus vernetztes Methylsilikonharz.