Triclorometilsilano, CH3SiCl3: líquido incoloro de olor penetrante como el del ácido clorhídrico, que hierve a unos 66 °C. Pasando cloruro de metilo sobre silicio caliente sin más, da sobre todo este compuesto (52 % en el ejemplo de Rochow de 1945); con el catalizador de cobre de hoy es el segundo producto (5–15 %), después del diclorodimetilsilano. El agua lo convierte en resina de metilsilicona reticulada.