Méthyltrichlorosilane, CH3SiCl3 : liquide incolore à l'odeur piquante comme celle de l'acide chlorhydrique, qui bout à environ 66 °C. Passé sur du silicium chaud seul, le chlorure de méthyle donne surtout ce composé (52 % dans l'exemple de Rochow de 1945) ; avec le catalyseur au cuivre d'aujourd'hui, c'est le deuxième produit (5–15 %), après le diméthyldichlorosilane. L'eau le transforme en résine méthylsilicone réticulée.