Metiltriklorosilana, CH3SiCl3: cairan tak berwarna berbau tajam seperti asam klorida, mendidih pada sekitar 66 °C. Bila metil klorida dialirkan di atas silikon panas tanpa katalis, hasilnya kebanyakan senyawa ini (52 % dalam contoh Rochow tahun 1945); dengan katalis tembaga masa kini ia menjadi hasil kedua (5–15 %), setelah dimetildiklorosilana. Air mengubahnya menjadi resin metil silikon berikatan silang.