मेथिलट्राइक्लोरोसिलेन, CH3SiCl3: रंगहीन द्रव, हाइड्रोक्लोरिक अम्ल जैसी तीखी गंध वाला, लगभग 66 °C पर उबलता है। सादे गर्म सिलिकॉन के ऊपर से मेथिल क्लोराइड गुज़ारने पर मुख्यतः यही यौगिक मिलता है (रोको के 1945 के उदाहरण में 52 %); आज के ताँबे के उत्प्रेरक के साथ यह दूसरा उत्पाद है (5–15 %), डाइमेथिलडाइक्लोरोसिलेन के बाद। पानी इसे आड़े-जुड़े मेथिल सिलिकोन रेज़िन में बदल देता है।