इट्रियम ट्राइफ़्लोराइड, YF3: 1155 °C पर पिघलने वाला सफ़ेद लवण, इट्रियम ऑक्साइड के ऊपर से हाइड्रोजन फ़्लोराइड प्रवाहित कर बनता है; कैल्शियम से अपचयन पर इट्रियम धातु देता है।