Metýltríklórsílan, CH3SiCl3: litlaus vökvi með stæka lykt eins og saltsýra, sýður við um 66 °C. Þegar metýlklóríð er leitt yfir hreinan heitan kísil fæst aðallega þetta efnasamband (52 % í dæmi Rochows frá 1945); með koparhvata nútímans er það önnur afurðin (5–15 %), á eftir dímetýldíklórsílani. Vatn breytir því í þverbundið metýlsílikonresín.