Metiltriclorosilano, CH3SiCl3: liquido incolore dall'odore pungente come quello dell'acido cloridrico, che bolle a circa 66 °C. Facendo passare cloruro di metile su semplice silicio caldo si ottiene soprattutto questo composto (52 % nell'esempio di Rochow del 1945); con l'odierno catalizzatore di rame è il secondo prodotto (5–15 %), dopo il dimetildiclorosilano. L'acqua lo trasforma in resina metilsiliconica reticolata.