メチルトリクロロシラン、CH3SiCl3：塩酸のような鋭い匂いのある無色の液体で、約66 °Cで沸騰する。触媒なしの熱したケイ素の上に塩化メチルを通すと、主にこの化合物が得られる（ロコウの1945年の例では52 %）。現在の銅触媒を使うと、ジメチルジクロロシランに次ぐ第二の生成物（5〜15 %）となる。水を加えると架橋したメチルシリコーン樹脂になる。