메틸트라이클로로실레인, CH3SiCl3: 염산 같은 자극적인 냄새가 나는 무색 액체로 약 66 °C에서 끓는다. 아무것도 넣지 않은 뜨거운 규소 위로 염화메틸을 통과시키면 주로 이 화합물이 얻어지며(1945년 로초의 예에서 52 %), 오늘날의 구리 촉매를 쓰면 다이메틸다이클로로실레인 다음의 두 번째 생성물(5–15 %)이 된다. 물을 만나면 가교된 메틸 실리콘 수지가 된다.