Metiltriklorosilana, CH3SiCl3: cecair tanpa warna berbau tajam seperti asid hidroklorik, mendidih pada kira-kira 66 °C. Apabila metil klorida dialirkan ke atas silikon panas biasa, hasilnya kebanyakan sebatian ini (52 % dalam contoh Rochow tahun 1945); dengan mangkin kuprum masa kini ia menjadi hasil kedua (5–15 %), selepas dimetildiklorosilana. Air menukarkannya kepada resin metil silikon berangkai silang.