میتھائل کلورائیڈ (کلورومیتھین، CH3Cl): ایتھر جیسی بو والی بے رنگ گیس جو تقریباً −24 °C پر ابلتی ہے اور سلنڈروں میں دباؤ کے تحت مائع حالت میں رکھی جاتی ہے۔ گرم سلیکان پر سے گزاری جائے تو میتھائل سلیکان کلورائیڈ دیتی ہے جن سے سلیکون بنتے ہیں۔