میتھائل ٹرائی کلوروسائلین، CH3SiCl3: ہائیڈروکلورک تیزاب جیسی تیز بو والا بے رنگ مائع جو تقریباً 66 °C پر ابلتا ہے۔ سادہ گرم سلیکان پر سے میتھائل کلورائیڈ گزارنے پر زیادہ تر یہی مرکب بنتا ہے (روچو کی 1945 کی مثال میں 52 %)؛ آج کے تانبے کے اتپریرک کے ساتھ یہ ڈائی میتھائل ڈائی کلوروسائلین کے بعد دوسری پیداوار ہے (5–15 %)۔ پانی اسے آپس میں جڑی ہوئی میتھائل سلیکون رال میں بدل دیتا ہے۔