Metylotrichlorosilan, CH3SiCl3: bezbarwna ciecz o ostrym zapachu jak kwas solny, wrząca w około 66 °C. Chlorek metylu przepuszczony nad zwykłym gorącym krzemem daje głównie ten związek (52 % w przykładzie Rochowa z 1945 roku); przy dzisiejszym katalizatorze miedziowym jest drugim produktem (5–15 %), po dimetylodichlorosilanie. Woda zamienia go w usieciowaną żywicę metylosilikonową.