Метилтрихлорсилан, CH3SiCl3: бесцветная жидкость с резким запахом, как у соляной кислоты, кипит примерно при 66 °C. При пропускании метилхлорида над обычным горячим кремнием получается в основном это соединение (52 % в примере Рохова 1945 года); с современным медным катализатором это второй продукт (5–15 %) после диметилдихлорсилана. Вода превращает его в сшитую метилсиликоновую смолу.