ميثيل ثلاثي كلورو سيلان، CH3SiCl3: سائل عديم اللون ذو رائحة نفّاذة كرائحة حمض الهيدروكلوريك، يغلي عند نحو 66 °م. وإذا مُرّر كلوريد الميثيل فوق سيليكون ساخن عادي أعطى هذا المركّب في الغالب (52 % في مثال روشو عام 1945)، أما مع محفّز النحاس اليوم فهو الناتج الثاني (5–15 %) بعد ثنائي ميثيل ثنائي كلورو سيلان. يحوّله الماء إلى راتنج سيليكون ميثيلي متشابك.