เมทิลไตรคลอโรไซเลน, CH3SiCl3: ของเหลวไม่มีสี กลิ่นฉุนเหมือนกรดไฮโดรคลอริก เดือดที่ราว 66 °C เมื่อผ่านเมทิลคลอไรด์เหนือซิลิคอนร้อนเปล่า ๆ จะได้สารนี้เป็นส่วนใหญ่ (52 % ในตัวอย่างของโรโชว์ปี 1945) ส่วนกับตัวเร่งปฏิกิริยาทองแดงในปัจจุบัน สารนี้เป็นผลิตภัณฑ์อันดับสอง (5-15 %) รองจากไดเมทิลไดคลอโรไซเลน น้ำเปลี่ยนมันเป็นเรซินเมทิลซิลิโคนที่มีพันธะเชื่อมขวาง