Metiltriklorosilan, CH3SiCl3: hidroklorik asit gibi keskin kokulu, yaklaşık 66 °C'de kaynayan renksiz bir sıvı. Metil klorür yalın sıcak silisyum üzerinden geçirildiğinde çoğunlukla bu bileşik oluşur (Rochow'un 1945 örneğinde %52); günümüzün bakır katalizörüyle ise dimetildiklorosilandan sonra ikinci üründür (%5–15). Su onu çapraz bağlı metil silikon reçinesine çevirir.