Метилтрихлорсилан, CH3SiCl3: безбарвна рідина з різким запахом, як у соляної кислоти, кипить приблизно при 66 °C. Коли метилхлорид пропускають над звичайним гарячим кремнієм, утворюється переважно ця сполука (52 % у прикладі Рохова 1945 року); із сучасним мідним каталізатором це другий продукт (5–15 %) після диметилдихлорсилану. Вода перетворює його на зшиту метилсиліконову смолу.