Metyltriclorosilan, CH3SiCl3: chất lỏng không màu, mùi hắc như axit clohydric, sôi ở khoảng 66 °C. Khi cho metyl clorua đi qua silic nóng thông thường, phần lớn thu được hợp chất này (52 % trong ví dụ của Rochow năm 1945); với chất xúc tác đồng ngày nay, nó là sản phẩm thứ hai (5–15 %), sau đimetylđiclorosilan. Nước biến nó thành nhựa metyl silicone liên kết ngang.