Metiltriclorossilano, CH3SiCl3: líquido incolor de cheiro acre como o do ácido clorídrico, que ferve a cerca de 66 °C. Passando cloreto de metila sobre silício quente simples, obtém-se sobretudo este composto (52 % no exemplo de Rochow de 1945); com o catalisador de cobre de hoje é o segundo produto (5–15 %), a seguir ao dimetildiclorossilano. A água transforma-o em resina de metilsilicone reticulada.